(株)大阪真空機器製作所

磁気浮上ターボ分子真空ポンプ:STPシリーズ

グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現しました。 また、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部へのTMP搭載が可能です。
(排気速度: 50L/s ~ 2400L/s)

油回転真空ポンプ:Pシリーズ

採用している揺動ピストン形は、耐久性に優れ効率的排気が可能です。
(排気速度:90~900m3/h)

ルーツ真空ポンプ :RA/RDシリーズ

モータ直結型ルーツ真空ポンプは、コンパクト設計の為、システムとしてまとめる事が容易にできます。