キヤノンアネルバ(株)

大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。1台で広い圧力領域を測定可能です。

M-080QA-HPMは、10-9Pa～1.3Paの広範囲で動作可能な四重極型質量分析計です。
超高真空とスパッタリングプロセス中の圧力領域を同一計測器で測定可能です。成膜中のガスを監視できるため、ガス異常・リーク等の不具合を検知し、プロセス異常による製品不良を未然に防ぐことができます。

基本スペックに妥協せず、しかも操作性は、可能な限り簡便化してどなたでも使いこなすこどができる先進型ヘリウムリークディテクタです。