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検査測定機器
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検査測定機器
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光ファイバー温度計
Rugged Monitoring社のマイクロ波や強電界磁界環境下でも測定可能な光ファイバー式温度計です。
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光学式エンドポイントディテクタ
あらゆるドライエッチングと、さらにイオンビームエッチングの終点検出を実現した、Verity社の光学式エンドポイントディテクタです。
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