Verity社のイオンビームエッチング対応エンドポイントディテクタ
分光計がイオンビームエッチングの終点検出を実現しました。
対応モデル ： SD1024GH、 SD2048GH
- SD1024Gシリーズには装置制御用のPCが必要ですが、制御用のOSを内蔵したSD1024Xシリーズ(SD1024XH/SD2048XH)もございます。
EP Designer 複合波長アルゴリズム
時間枠内の複合波長から膜種が想定可能なライブラリを搭載
イオンビームエッチングデータ
- EPD可能なSNレベルに躍進
- 安価なメンテナンスコスト
- 検出器劣化ほぼ無し
- Off line reprocessで簡単条件選定
- 省スペース；さらにXHモデル
SD1024シリーズ エンドポイントディテクタ
光学式エンドポイントシステム Spectrograph SD1024シリーズは、エッチングプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。
また、付属のSpectraView™ソフトウェアで採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。
Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、EP DesignerやNeural Networkを用いたエンドポイント検出アルゴリズムなど、優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。
SpectraView™では、RS232C/Digital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応しており、ニーズに合った通信プロトコルを提供します。
ハードウェア仕様
Gシリーズ（Windows PCコントロール）
| タイプ | SD1024G/GH | SD2048GH |
|---|---|---|
| CCD仕様 | ７４ｍｍ² 裏面入力型冷却タイプ |
|
| 分解能 | < 1.87nm | < 1.0nm |
| 最小露光時間 (standard A/D) | 13ms | 7ms |
| 波長範囲 | 200 ～ 800nmor 200 ～ 900nm | |
| サイズ (mm) | H 142 × W 137.2 × L 259 | |
| 重さ | 3kg | |
| ファイバー | Verity社特注 | |
| 入力ch数 | 最大 8 fiber | |
| I/F | USB or Ethernet | |
| 電源仕様 | 20 – 28 VDC、45W | |
Xシリーズ（PC内蔵型）
| タイプ | SD1024X/XH | SD2048XH |
|---|---|---|
| CCD仕様 | ７４ｍｍ² 裏面入力型冷却タイプ |
|
| 分解能 | < 1.87nm | < 1.0nm |
| 最小露光時間 (standard A/D) | 13ms | 7ms |
| 波長範囲 | 200 ～ 800nm or 200 ～ 900nm | |
| サイズ (mm) | H 142 × W 137.2 × L 259 | |
| 重さ | 3.4kg | |
| ファイバー | Verity社特注 | |
| 入力ch数 | 最大 8 fiber | |
| I/F | USB or Ethernet | |
| 電源仕様 | 20 – 28 VDC、45W | |
システム構成
SD1024GHシステム
