イオンビーム関連装置– category –

Dr. Kaufman開発の米国KRI社製イオンビームソースの販売、及び取り付けを行います。

ガスクラスターは数百〜数千個のガス原子がゆるく結合した塊で、細いスロートを持つノズルから噴出させる事により生成されます。

表面粗さの小さいスパッター加工、ナノメートルレベルの高速加工、表面改質　高品質膜形成が可能なガスクラスターイオンビーム（GCIB）装置です。

DCまたはRFイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング／ミリング装置です。
コンパクト設計でイージーオペレーション及び拡張性の高いJ440シリーズをラインナップ。

RFイオンソースを使用し、シングルステージ又はプラネタリーステージを搭載したイオンビームスパッタリング（IBS）装置です。

Verity社のスぺクトロメータ―「SD1024GH」「SD2048GH」は、イオンビームエッチングの終点検出を実現した光学式のエンドポイント検出システムです。