Dr. Kaufman開発の米国KRI社製イオンビームソースの販売、及び取り付けを行います。
イオンビームソースはクリーニング、トリミング、スパッタ、エッチング等、幅広く適応いたします。
エンドホールタイプ
低エネルギー、高電流密度によりダメージの少ないエッチング、クリーニング、イオンアシスト蒸着が可能です。
グリッドタイプ
スパッタ用として欠陥の少ない高品質光学膜成膜用、ミリング用として磁性材料、金属膜などのエッチング用。
これらイオンビームソースを使用したスパッタ装置、エッチング／ミリング装置をお客様の仕様で設計、製造致します。