Verity社の光学式エンドポイントディテクタ
あらゆるドライエッチングと、さらにイオンビームエッチングの終点検出を実現しました。
| アプリケーション | 対応モデル |
|---|---|
| プラズマエッチング | SD1024G、SD2048G、SD1024GM、SD2048GM |
| イオンビームエッチング | SD1024GH、SD2048GH |
| アッシング/フォトレジスト除去 | SD1024GL |
| プラズマイオン注入 | SD1024GL |
| CVD | SD1024GL |
| CMP | SP2100 |
| ベベルエッチング | SD1024GL |
| 反応性スパッタリング | SD1024G、SD1024GM、SD1024GL |
- SD1024Gシリーズには装置制御用のPCが必要ですが、制御用のOSを内蔵したSD1024Xシリーズ(SD1024X/SD1024XH/SD1024XM/SD1024XL)もございます。
EP Designer 複合波長アルゴリズム
時間内の複合波長から膜種が想定可能なライブラリを搭載
SD1024シリーズ エンドポイントディテクタ
光学式エンドポイントシステム Spectrograph SD1024シリーズは、エッチングプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。
また、付属のSpectraView™ソフトウェアで採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。
Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、EP DesignerやNeural Networkを用いたエンドポイント検出アルゴリズムなど、優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。
SpectraView™では、RS232C/Digital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応しており、ニーズに合った通信プロトコルを提供します。
ハードウェア仕様
Gシリーズ（Windows PCコントロール）
スクロールできます
| タイプ | SD1024G/GH | SD2048GH | SD1024GM | SD2048GM | SD1024GL | SD2048GL | SE1024GL-CMOS |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CCD仕様 | ７４ｍｍ² 裏面入力型冷却タイプ |
２５ｍｍ² 高感度紫外ダイナミックレンジタイプ |
５．７ｍｍ² 高感度紫外ダイナミックレンジタイプ |
５．７ｍｍ² 高感度紫外タイプ |
|||
| 分解能 | < 1.87nm | < 1.0nm | < 1.87nm | < 1.0nm | < 2.0nm | < 1.0nm | < 2.0nm |
| 最小露光時間 (standard A/D) | 13ms | 7ms | 2ms | 2ms | 6ms | 6ms | 2ms |
| 波長範囲 | 200 ～ 800nmor 200 ～ 900nm | 200 ～ 800nm | |||||
| サイズ (mm) | H 142 × W 137.2 × L 259 | H 102 × W 137.2 × L 191 | |||||
| 重さ | 3kg | 1.6kg | |||||
| ファイバー | Verity社特注 | SAM905 | |||||
| 入力ch数 | 最大 8 fiber | 最大 3 fiber | 1 fiber | ||||
| I/F | USB or Ethernet | ||||||
| 電源仕様 | 20 – 28 VDC、45W | ||||||
Xシリーズ（PC内蔵型）
スクロールできます
| タイプ | SD1024X/XH | SD2048XH | SD1024XM | SD2048XM | SD1024XL | SD2048XL | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CCD仕様 | ７４ｍｍ² 裏面入力型冷却タイプ |
２５ｍｍ² 高感度紫外ダイナミックレンジタイプ |
５．７ｍｍ² 高感度紫外ダイナミックレンジタイプ |
||||
| 分解能 | < 1.87nm | < 1.0nm | < 1.87nm | < 1.0nm | < 2.0nm | < 1.0nm | |
| 最小露光時間 (standard A/D) | 13ms | 7ms | 2ms | 2ms | 6ms | 6ms | |
| 波長範囲 | 200 ～ 800nm or 200 ～ 900nm | 200 ～ 800nm | |||||
| サイズ (mm) | H 142 × W 137.2 × L 259 | H 102 × W 137.2 × L 191 | |||||
| 重さ | 3.4kg | 1.6kg | |||||
| ファイバー | Verity社特注 | SAM905 | |||||
| 入力ch数 | 最大 8 fiber | 最大 3 fiber | 1 fiber | ||||
| I/F | USB or Ethernet | ||||||
| 電源仕様 | 20 – 28 VDC、45W | ||||||
SP2100 分光式リフレクトメータ
SD1024とキセノンランプを組み合わせてウェハー上の薄膜などを測定します。
エッチングやCVDアプリケーションでの膜厚の処理中（in-situ)計測とインライン計測用に、またCMPでの金属またはトランジションブレイクスルー用に設計
- リアルタイム計測
- 利用可能波長範囲
標準： 225 – 800nm
オプション： < 225 – 800nm - フリンジカウント、反射率モデルベースアルゴリズム
- RoHS指令対応
SD1024スペクトロメータ
- 優れたUV感度
- 優れたS/N比
- 広ダイナミックレンジ
- 多重光ファイバー入力が可能(アプリケーションによる)
フラッシュランプ
- プラズマの差分によるその場計測
- 移動ウェハーの場合の固定画像イメージ
- 優れたS/N比での高輝度
SpectraView™
- 安定したエンドポイント検出
- エッチング深さ
- 膜厚アルゴリズム
- 柔軟なオープンアルゴリズムとシーケンス
- イーサネット、RS232、DI/O経由のツール統合
SD512GR 近赤外光分光装置
- 900 – 1700nmの波長範囲に対応
- 終点検出、障害検出、プロセス診断、そして分光反射率計測器の一部として利用可能
- 化学反応モニタリング、化学品/医薬中間体や完成化学品医薬品の品質検査